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PORTER 液體質量流量控制器

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  • PORTER 液體質量流量控制器

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產品型號:
廠商性質: 經銷商
地:
更新時間: 2018-05-15 15:11:49
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產品簡介

設計特點
· 壓電式控制閥
· 金屬密封結構
· 響應時間快
· 設計緊湊
· 316L/316SS不銹鋼結構
· 高精度達± 1%

詳細介紹

設計特點
· 壓電式控制閥
· 金屬密封結構
· 響應時間快
· 設計緊湊
· 316l/316ss不銹鋼結構
· 高精度達± 1%

p2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、精確控制的領域。其簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統提供精確的測量,同時液體溫度上升小于5度。高級的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩定的控制。 p2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計,用于那些不需要進行流量控制的場合。
d2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對液體快速、精確控制的半導體制造工藝。數字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保(高純度和泄漏完整性)。獨特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量,同時液體溫度僅上升5度,此外,d2000i的簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。


液體流量計和控制器技術參數
流量范圍 : p2000i系列和d2000i系列液體流量控制器是以異丙醇(ipa)來標定的,在測量其它液體介質時需要乘以一個校正系數,具體請參考表一
響應時間 : p2000i系列 : 2s( 設定點的2%之內 )
d2000i系列:<1s( 流量的5%之內 )
精度和線性 :± 1%滿量程(p2000i系列);±1%讀數(d2000i系列)
重復性 : p2000i系列:<±0.2%滿量程(任意連續溫度下)
d2000i系列:<±0.2%讀數
量程比: p2000i系列:50:1(2%-100%滿量程)
d2000i系列:20:1(5%-100%滿量程)
zui大操作溫度 : 40℃(104℉)
zui大操作壓力: 125psig
溫度系數 :< 0.1%/℃
>設定點輸入 /流量輸出信號 : 0-5vdc/0-5vdc(輸出流量信號時:需zui小2kω電阻)
供電電源 :﹢ 15vdc±10%(電流消耗<200madc時)
泄露率 : 1х10 -9 atm.cc/s he
預熱時間: 10分鐘(p2000i系列);20分鐘(d2000i系列)
電氣連接 : 9針d型
入口 /出口過程連接 : 1/8″male vcr或1/8″swagelok
控制閥 :壓電式常開
內置容積 :< 0.71ml(p2000i系列);<1ml (d2000i系列)
重 量 :≤ 0.68kg


結構材質
主體: 316lss
傳感器組件 : 316lss
閥構成部件 : 316lss(d2000i系列);302ss和316lss(p2000i系列)
“ o"型環:316lss
表 一

ipa 流量范圍(ccm)

液體介質

校正系數

0.003-0.14

0.008-0.40

0.020-1.00

0.070-3.50

0.150-7.50

0.220-11.0

cuprase-lect

1.164

己烷

1.492

辛烷

1.532

omcts

1.927

tdeat

1.258

tmp

1.357

四乙基原硅酸鹽

1.156

tmb

1.413

0.492


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